关键词：涡旋干式真空泵 增值服务提供商 性能 尾气处理系统 稀有气体 

摘要：Edwards是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商，该公司已为其涡旋干式真空泵nXDS系列新增一种特殊的产品，该产品尤其适用于稀有气体或临界气体抽吸应用。

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