关键词：半导体设备 集成电路产业 国产 清洗 扩散 

摘要：近年来，我国集成电路产业发展速度举世瞩目，并呈现稳定增长势头。据一家美国集成电路行业调查公司IC Insights的调查报告显示：中国将在今年成为最大的集成电路市场。今年市场总额为343亿美元，到2010年中国集成电路市场总额将达950亿美元。

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