关键词：工厂自动化 smif 低成本自动化 半导体设备 系列产品 

摘要：<正>全球高效低成本自动化解决方案暨工程服务供应商Crossing Automation日前于上海举办的中国半导体设备暨材料展(SEMICON China)中,引进全新系列的标准机械化接口(SMIF)晶圆加载机(LPT),此一系列产品可应用于各类200 mm开放式晶圆匣的制程、量测和检测设备。这些可适应性标准机械化接口晶圆加载机(SMIF-LPT)提供由非标准机械化接口升级为标准机械化接口的低

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