关键词：集成压力传感器 压阻型 硅片 1型 各向异性腐蚀 

摘要：YZ-1型硅压阻型集成压力传感器可用于近程或远程流体压力的测定、显示，进而达到自控的目的．该产品的测压量程为0～1MPa．适用温度范围为．10～50℃或-20～40℃，以（100）硅片为基础村料．背面经各向异性腐蚀后产生方形杯，杯底构成弹性膜。YZ-1型硅压阻型集成压力传感器采用方形膜及有限力学优化设计．力敏电阻布置合理．充分利用应力效应，

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