关键词：产业发展 集成电路 技术跨越 微电子技术 步态 

摘要：集成电路是国家的战略产业 微电子技术是信息通信产业的基础与核心。微电子技术进步将继续遵循“摩尔定律”。目前先进国家工艺水平已达0．09μm线宽，而我国最高水平仅0．18μm，差距为2～3代。据美国半导体协会预测，2014年半导体线宽将达0．035μm，

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