电子工业专用设备杂志

第八届（2013年度）中国半导体装备创新产品和技术介绍

关键词: 中国电子专用设备工业协会  半导体设备  创新产品  技术  装备  行业协会  电子材料  综合评价  

坚持市场导向突出助优扶强将科技资金“用到刀刃上”

关键词: 科技创新  资金管理  市场导向  刀刃  突出  国务院常务会议  科技成果产业化  国家财政  

科技创新是提高社会生产力和综合国力的战略支撑，在国家发展全局中居于核心位置；科技投入则是创新发展的物质基础。党中央、国务院历来高度重视科技发展，长期以来，国家财政始终将科技作为重点支持领域。财政部数据显示，全国财政科技支出从2006年的1688.5亿元提高到2012年的约5600.1亿元，年均增长22.73%，7年累计2.42万亿元。国务院总理于2...

半导体的行业挑战与摩尔定律

关键词: 半导体行业  摩尔定律  半导体工业  集成电路  运行速度  芯片制造商  intel  工业发展  

变化中的全球半导体设备市场

关键词: 半导体设备  设备市场  中国大陆  市场规模  台湾地区  区域市场  晶圆代工  台积电  

度的萎缩，市场规模分别为57.4亿美元及55亿美元。中国台湾地区和中国大陆是区域市场中在2013年有所增长的地区，中国台湾地区半导体设备市场规模持续稳定增长主要得益于全球最大的晶圆代工企业台积电的积极扩张策略；中国大陆市场规模2013年的增长很大部分来源于国内代工厂如华力、中芯的12英寸产能增加，未来2年西安三星项目的展开将会提高中...

450 mm晶圆CMP设备技术现状与展望

关键词: 化学机械平坦化  集成技术  多区域压力控制  终点检测  抛光垫修整  后清洗  

分析化学机械平坦化（CMP）耗材发展现状及趋势，推断450 mm晶圆的CMP设备及技术的迫切性；在此基础上，展望450 mm晶圆将会采用系统集成技术、多区域压力控制承载器技术、抛光垫修整技术、终点检测技术、后清洗技术，并初步分析以上这些技术的特点。最后指出随着晶圆制造厂激烈竞争和持续投资，对450 mm的CMP设备要求必有所突破。

以技术创新推动晶体硅太阳能电池智慧生产线建设

关键词: 晶体硅电池  智慧生产线  过程自动化  

综述了晶体硅太阳能电池生产线的技术现状，并结合晶体硅电池技术的未来发展方向，分析了晶体硅太阳能电池生产线技术的发展趋势，认为创新工艺及设备、高产能及高效自动化、监控与决策智能化是未来晶体硅太阳能电池生产线的三大主要特征，在此基础上，提出了一种晶体硅太阳能电池智慧生产线，简要介绍了其结构组成，特点及实现。1

提高晶圆扫描效率的方法研究

关键词: 晶圆测试  晶圆扫描  扫描效率  全片扫描  边缘扫描  

从测试晶圆上未划切的手机摄像头芯片引出一个问题：如何快速确定晶圆的有效测试范围，提出了“全片扫描”和“边缘扫描”两种方法，阐述实现原理后，分析各自的优缺点，利用实验数据进行效率对比，发现“边缘扫描”效率更高。

CTA8280集成电路测试系统的研究应用

关键词: 集成电路  测试系统  测试精度  并行测试  乒乓测试  

集成电路测试系统对测试精度、测试速度、测试功能等方面提出了越来越高的要求，测试系统并行测试和乒乓测试结合可以更好地利用现有的硬件资源，最大限度地提高系统的测试效率，降低测试成本。针对CTA8280测试系统结构、关键技术、应用案例进行分析介绍。

全自动贴敷PSA设备的研制

关键词: 柔性电路板  贴敷psa胶片  自动化设备  

针对当前柔性电路板贴敷PSA （压敏胶）胶片工序自动化程度低的情况，研发了可以完成贴敷PSA工序的全自动化设备，并能够满足柔版生产线速率、适应多种规格的PSA胶片。对该设备的工艺流程、结构特点及达到的技术指标进行了论述。设备的研制极大地提高了生产效率和贴敷精度。

直线电机保护装置的设计与控制方法

关键词: 直线电机  保护装置  adams仿真  螺线管  

直线电机具有精度高、响应快等优点，广泛应用于半导体制造设备中。直线电机控制机构Z向运动时，经常出现掉电或故障导致的电机动子跌落而发生损坏晶圆的情况。利用电磁铁螺线管设计了一种电机掉电保护装置，建立动力学模型，应用Adams软件进行了动力学仿真，获得了挂钩转角与时间的关系曲线，并通过搭建实验平台，测试了该系统的反应时间。实验...

极大规模集成电路测试开发平台和全自动测试线全面建成并投入产业化应用

关键词: 集成电路测试  开发平台  产业化  测试线  全自动  应用  极大  大规模集成电路  

北京确安科技股份有限公司通过国家科技重大专项（02专项）项目“极大规模集成电路测试技术研究及产业化应用”，全面建成了极大规模集成电路测试开发平台和全自动测试线，实现了300 mm (12英寸)晶圆产业化测试，具备了每月550片12英寸晶圆测试和每月50万颗高密度封装形式的高端芯片成品测试能力。

使用寿命提高4倍 Triflex RS机器人管线包用于天窗涂胶机器人生产线

关键词: 涂胶机器人  生产线  寿命提高  工业自动化  天窗  管线  rs  周围环境  

过去很长一段时间，我们对工厂的概念是繁忙、人员众多、光线不足，伴随着大量的粉尘、油污。而我们现在进入一家现代化厂房，状况已经发生了很大的变化。在现代化工厂我们只能看到少数的几个设备工人在忙碌，而周围环境显得整洁明亮，紧张工作的是形式各异的机器人，它们负责起了搬运、焊接、抓取、涂胶、打磨等以往由人工完成的工作。宜科（天...

日联科技产品介绍（semicon china）

关键词: semicon  产品介绍  科技  射线检测技术  光学检测设备  高新技术企业  设备制造商  太阳能光伏  

日联科技成立于2002年，最初以研发生产电子装配行业的特种清洗机与自动光学检测设备为主营业务。2007年以市场为导向凭借勇于创新的精神和雄厚的实力突破微聚焦 X 射线检测技术，填补国内多项技术空白，成为国内首家微聚焦X 射线精密检测设备制造商。目前日联科技已成为国内集微聚焦 X 射线研发、生产、销售与服务为一体的高端检测装备国家级高...

引领市场技术的多用途导电性芯片贴装膜发展迅速

关键词: 导电性  膜技术  芯片  贴装  半导体封装  用途  市场  引线框架  

消费者不断要求在越来越小的外形尺寸上实现更多的功能，促使半导体封装专家寻找更薄、更小、更高封装密度的可靠解决方案。而实现此类解决方案部分在于提供制造超小型半导体装置时所使用的材料。这不仅适用于基板的（非导电性）封装，也适用于引线框架（导电性）应用-微型化趋势已扩展到多种封装类型。基板封装的制造商长期以来依靠贴装膜技术...

积极参与到国家02专项实践中--机遇与挑战

关键词: 半导体产业  封装业  信息交流  技术  设备商  产业链  

中国的半导体封装业起源于20世纪60年代，在关键技术上采取引进和模仿的方式，而且当时封装企业与设备商双方都对封装核心技术比较保守，缺少有效的合作平台；工艺等技术层面的信息交流也不充分，没有形成统一协调的产业链，使半导体产业发展缓慢。

第三代闭管软着陆扩散系统

关键词: 扩散系统  软着陆  闭管  第三代  质量流量计  石英管  环境干扰  工艺过程  

闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管，保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰。系统整机清洁降低了石英制品清洗的频次。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能。

迪思科科技（中国）有限公司及几款半导体加工设备的介绍

关键词: 半导体产业  中国大陆  加工设备  科技  思科  disco  设备供应商  抛光加工  

EVG公司在SEMICON China 2014展示新的技术解决方案

关键词: semicon  技术开发  设备供应商  半导体市场  制造工艺  加工程序  制造技术  制造厂家  

胜科纳米参展NEPCON西部电子展

关键词: 光电子能谱仪  飞行时间二次离子质谱仪  纳米  高分辨透射电镜  场发射扫描电镜  分析实验室  西部  

胜科纳米是世界顶尖的独立第三方实验室，其材料分析和失效分析实验室配备了全套的高端分析仪器，并搭建起了开放式的专业分析平台，拥有世界一流的实验室设备，如：高分辨透射电镜（HR-TEM）,双束聚焦离子束（Dual Beam FIB），场发射扫描电镜（FE-SEM），飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS），动态二次离子质谱仪（D-SIMS），X 射线光电子能谱...

首届“华进开放日”活动隆重召开

关键词: 中国工程院院士  技术创新战略  无锡市  集成电路  秘书长  副主任  产业链  市政府  

2月26日，首届“华进开放日”系列活动在无锡隆重召开。无锡市副市长曹佳中，无锡市市政府副秘书长周浩明，新区管委会副主任、太科园管委会主任朱晓红，中国工程院院士许居衍，国家集成电路封测产业链技术创新战略联盟秘书长于燮康，国家科技重大专项（02）专项总体组专家滕敬信，以及来自73家单位的相关领域的专家、封测产业方面的企业家，共...