关键词：垂直螺旋式电感 集总参数 ltcc q值 

摘要：采用低温共烧陶瓷技术(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)建立多层垂直螺旋式电感模型,系统研究了如何在保证垂直螺旋式电感体积优势的条件下提高电感的Q值;通过集总参数等效,实现垂直螺旋式电感模型感值及Q值的准确提取.在垂直螺旋式电感感值为12 nH的条件下,详细分析了金属线宽、金属线圈层数及金属线圈离地距离对电感Q值的影响.最终将垂直螺旋式电感的Q值由原来的32提高到70以上,实现了多层垂直螺旋式电感Q值的提高.

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