关键词：zno薄膜 晶体结构 表面形貌 发光性能 

摘要：本文利用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备了本征、N单掺和Li-N共掺的ZnO薄膜。研究Li掺杂量的改变对薄膜的晶体结构、表面形貌、透过性能和发光性能的影响。采用了紫外-可见分光光度计(UV-VIS)、光致发光谱(PL)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)等表征手段对样品进行了测试。结果表明:Li掺杂量的改变对薄膜的结构和性能都有一定的影响,随着Li掺杂量的增加,(002)衍射峰强度增大,晶粒尺寸先增加后减小,紫外发射峰的强度和薄膜的透过性能同样是先增强后减弱。当Li元素的原子比为6 at%时,薄膜的c轴择优取向明显,结晶性能最好,薄膜紫外发光最强,透过率最大。

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