关键词：三维 微电子机械系统 电感 优化设计 

摘要：研究了影响三维微机械电感电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,得到了电感的优化结构,在2.5 GHz的工作频率下,其电感值为11 nH,Q值为9.

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