关键词：气相法二氧化硅 配套建设 电子级 国内首创 硅烷 

摘要：<正>产品质量具有国际先进水平、国内规模最大的年产5000吨气相法二氧化硅装置正在建设中,配套建设、国内首创年产1000吨电子级高纯硅烷气项目,8月15日已完成设计和土建工作。7月,经天津大学测试,赤峰盛森硅业科技发展有限公司中试产品电子级高纯硅烷气纯度超过7N,标志着我国此类硅烷气生产技术水平跻身国际先进行列。

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