关键词：ito靶材 成形 研究 

摘要：ITO靶材主要用于制作液晶显示器、导电玻璃以及太阳能电池等。ITO靶材成形的工艺有冷静压成形、冲压成形、模压成形、挤压成形、凝胶注模成形、注浆成形等等。未来ITO靶材也会快速发展,运用到更多地方。

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