关键词：集成电路 硅片传输机器人 研究现状 典型结构 

摘要：本文综述了硅片传输机器人的发展历史，探讨了硅片传输机器人的典型结构，分析了硅片传输机器人的研究现状，并介绍了硅片传输机器人的典型产品。

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