关键词：mems器件 基础研究 制造技术 质量评价方法 工艺过程 

摘要：国家973计划微机电系统（MEMS）规模制造技术基础研究的课题组在首席科学家王跃林的带领下，针对微机械结构应力与工艺过程的关系、微机械结构特性与工艺精度的关系、多材料多物性的兼容、工艺质量评价方法等关键科学问题，在MEMS压阻器件规模制造技术基础、MEMS电容式器件规模制造技术基础、MEMS单片集成器件规模制造技术基础和MEMS器件规模封装技术基础等方面均开展了研究工作，部分工艺模型和方法已在集成电路制造厂进行了应用验证。

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