关键词：电子制造 技术革新 国家自然科学基金委员会 北京航空航天大学 上海交通大学 

摘要：据国家自然科学基金委员会2007年9月14日报道．由上海交通大学、清华大学、中南大学、大连理工大学、华中科技大学和北京航空航天大学联合承担的项目“先进电子制造中的重要科学技术问题研究”．围绕两大科学问题“相对运动表面间的原子、分子和纳米粒子行为”和“极限制造的复杂系统高精度协同运动规律与控制”。取得了突出的理论和技术进展，主要创新性成果如下。

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