关键词：等离子体增强磁控溅射 组织形貌 结合力 硬度 

摘要：利用等离子体增强非平衡磁控溅射技术,在7A04铝合金表面制备Cr/CrN的复合硬质薄膜。研究Ar、N2通量比(即FAr/FN2)和腔体压强对薄膜形貌、物相组成、膜-基结合力及硬度的影响。结果表明:利用磁控溅射技术可以在7A04铝合金表面制备出组织致密均匀且与基体结合良好的Cr/CrN复合薄膜。随FAr/FN2增大,组织生长越来越致密,晶粒形状由柱状晶逐渐向等轴晶转变,膜与基体间的结合力逐渐增大,硬度开始增加然后减小。随着腔体压强的增加,组织生长逐渐疏松,晶粒尺寸逐渐增大,对膜与基体间结合力的影响不大。

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