关键词：磁控溅射 二硫化钼 复合薄膜 

摘要：采用单靶与双靶磁控共溅射技术,在非晶态石英玻璃基底上分别沉积生长了MoS 2薄膜及MoS 2/C复合薄膜.利用X射线衍射、拉曼光谱检测技术对MoS 2薄膜和MoS 2/C复合薄膜材料的结构进行表征,探讨了退火处理前后薄膜结构的变化.结果表明,通过脉冲和射频双靶共溅射制备的MoS 2/C复合薄膜,碳原子对二硫化钼的空隙进行了填充,经过400℃真空退火20分钟,获得了结晶度较好的MoS 2/C复合薄膜材料.

洛阳师范学院学报杂志要求:

{1}正文。论文应论点明确、逻辑严密、数据可靠、内容翔实，提供详细的分析数据与图表。

{2}文章若确有需要调整的内容，请至少在出刊日前三个月向编辑部提出书面申请，经编辑部同意确认后方能进行调整。

{3}参考文献首先按文种集中，可分为英文、中文、西文等。然后按著者人名首字母排序，中文文献可按著者汉语拼音顺序排列。

{4}附论文内容关键词3—8个及150字左右的内容摘要。

{5}受基金资助产出的文稿应以基金项目作为标志，注明基金项目名称、编号，放在篇首页左下脚作者单位之前。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社