关键词：三氯氢硅 多晶硅 生产工艺 工业化设计 优化 

摘要：本三氯氢硅工业生产装置采用硅粉与氯化氢气体直接反应的常压沸腾床工艺。介绍了整个生产工艺流程;分析生产过程中的主要危险因素,提出避免危险因素出现的主要设计措施;分析了硅粉粒径、氯化氢含水量、合成炉反应温度、精馏效果对三氯氢硅产品的影响并提出优化措施。

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