关键词：lanio3 csd 电阻率 xrd 

摘要：采用化学溶液法在SiO2/Si（100）衬底上制备了LaNiO3导电薄膜,研究不同热解温度、不同薄膜厚度对LNO薄膜结构和导电性的影响,结果发现薄膜均呈现（110）择优取向生长,尤其是650 ℃退火6层的薄膜（110）相对取向度最大为2.05,750℃退火的薄膜电阻率最小,且电阻率随时间和厚度的增加而变大.

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