关键词：离子注入机 大剂量 65nm工艺 离子注入系统 can技术 

摘要：Axcelis技术公司推出可用于大流量注入及亚65nm器件制造的Optima HD离子注入机。这种新型低能大剂量离子注入系统可提供200eV至80keV能量，采用高级点束技术进行注入，可确保晶圆上所有点从相同角度都能看到同一光束；该系统还使用Axcelis专有RadiusScan技术，产量高，剂量覆盖范围广，可满足传统及新型高剂量离子注入的要求。

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