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微纳电子技术杂志

杂志介绍

微纳电子技术杂志是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第十三研究所主办的一本北大期刊。

微纳电子技术杂志创刊于1964,发行周期为月刊,杂志类别为科技类。

  • GaN基SBD功率器件研究进展

    关键词: 氮化镓  功率器件  肖特基金属  漏电流  等离子体处理  

    作为第三代宽禁带半导体器件,GaN基肖特基势垒二极管(SBD)功率器件具有耐高温、耐高压和导通电阻小等优良特性,在功率器件方面具有显著的优势。概述了基于功率应用的GaN SBD功率器件的研究进展。根据器件结构,介绍了基于材料特性的GaN SBD和基于AlGaN/GaN异质结界面特性的GaN异质结SBD。根据器件结构对开启电压的影响,对不同阳极结构器件进行...

  • 双注入区量子点超辐射发光管的数值模拟

    关键词: 双注入区结构  器件模型  结构参数  

    数值模拟了结构参数(超辐射区腔长和脊宽,光放大区腔长和张角)对双注入区量子点超辐射发光管器件性能(光谱和功率等)的影响。结果表明,当器件超辐射区注入电流和放大区注入电流均固定时,随着超辐射区腔长的增加,输出光谱中激发态强度减弱,基态强度先增强后减弱;随着放大区腔长的增加,输出光谱中基态强度增加,激发态强度先增加后减弱。超辐射...

  • 磁性液体的微致动性能

    关键词: 磁性液体  微致动器  实验台  微致动力  

    针对磁性液体在MEMS微致动器中的应用,对磁性液体在磁场中致动力的影响因素进行了理论分析。根据理论分析结果设计了一套磁性液体微致动性能测试实验台,并从磁场强度、磁性液体受力面积和磁性液体质量三个方面对其微致动性能进行实验研究。实验结果表明:磁性液体致动力与磁场强度近似呈线性关系;等量磁性液体作用面积越大,致动力越大;磁性液体...

  • 高性能音叉结构MEMS陀螺的抗冲击设计

    关键词: mems音叉陀螺  冲击模态  抗冲击性  高品质因数  惯性导航  

    MEMS音叉陀螺存在很多振动模态,分析发现,其在驱动方向上受到冲击时的振动形式与工作在驱动模态的振动形式是不同的。通过改进悬挂梁的尺寸结构,提高了冲击振动模态谐振频率以增强陀螺的抗冲击性,同时保持驱动模态谐振频率不超过20 kHz,保证了陀螺的性能。采用SOG工艺制备了所设计的MEMS音叉陀螺,经过测试,该陀螺驱动模态的品质因数为5 734,检测...

  • 圆微通道内压力驱动流的流动电位及动电效应

    关键词: 动电效应  流动电位  离子浓度  压力梯度  特征长度  

    采用流动Navier-Stokes方程和双电层电位的Poisson-Nernst-Planck方程建立压力驱动圆形微通道内电解质溶液流动的数学模型,根据电流平衡条件求得流动电位场。应用有限元法分析了离子浓度、压力梯度及通道特征长度对流动电位的影响规律。在此基础上,进一步分析流动电位引起的动电效应对微流动的影响。结果表明:随着压力梯度的增大或离子浓度的减...

  • 相变材料等离子体刻蚀的研究进展

    关键词: 等离子体刻蚀  相变材料  ge2sb2te5  刻蚀损伤  刻蚀机理  

    首先综述了相变材料等离子体刻蚀技术的研究进展,然后讨论了影响相变材料等离子体刻蚀的主要工艺参数,如线圈功率、腔体气压、偏压、刻蚀气体及气体比例等,进而解释了工艺参数与刻蚀结果的依赖关系。同时采用多种分析手段,对相变材料在等离子体刻蚀工艺中产生的刻蚀损伤进行了分类和表征,并基于该分析结果提出了工艺优化方案。最后总结了相变材...

  • 第一次征文通知 第十二届IEEE固态和集成电路国际会议

    关键词: ieee  北京分会  大会主题报告  蓬勃发展时期  优秀学生论文  器件技术  中国电子学会  电邮投稿  分会邀请报告  投稿截止日期  

    2014年10月28-31日,桂林第十二届IEEE固态和集成电路国际会议(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology,IEEE ICSICT)将于2014年10月28-31日在桂林召开,本次会议由IEEE北京分会主办,并得到了IEEE EDS及SSCS学会、IET和CIE等国内外多家学术组织的支持。

  • 第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知(第二轮)

    关键词: 微纳电子技术  会议通知  康教授  技术创新战略  特邀报告  技术研究人员  电子科技大学  大会主题报告  科研人员  会议注册费  

    第七届"中国微纳电子技术交流与学术研讨会"定于2014年8月5—7日在太原举行。大会特邀请海内外微纳电子技术领域的知名院士、专家、教授等作大会主题报告,欢迎海内外广大科研人员、高校师生以及产业界技术研究人员积极参与。

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