微纳电子技术杂志是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第十三研究所主办的一本北大期刊。
微纳电子技术杂志创刊于1964,发行周期为月刊,杂志类别为科技类。
杂志介绍
微纳电子技术杂志是由中国电子科技集团公司主管,中国电子科技集团公司第十三研究所主办的一本北大期刊。
微纳电子技术杂志创刊于1964,发行周期为月刊,杂志类别为科技类。
主管单位:中国电子科技集团公司
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
国际刊号:1671-4776
国内刊号:13-1314/TN
发行周期:月刊
全年订价:¥244.00
关键词: 互连
综述了集成电路互连引线的发展历史以及研究进展,从最初的铝互连引线到现在主流的铜互连引线,再到下一代碳纳米管互连引线。首先,介绍了铝作为互连引线材料的优点与其所存在的缺陷及改进方法,例如电迁移现象等问题的形成原因以及相应的克服方法。然后,探究了铜在互连方面的相关性质,分析了铜取代铝作为互连线材料的原因,并重点研究了制备...
关键词: 逻辑器件 自旋波 功率损耗 相移 干涉仪
阐述了逻辑器件的研究背景,指出了传统基于硅的器件的发展面临的严峻挑战。同时,简要分析了新兴碳纳米金属氧化物半导体场效应晶体管和石墨烯金属氧化物半导体场效应晶体管的优势和不足,进而阐述了以自旋波为基础的逻辑器件在尺寸减小、功耗降低和传输速度提高等方面的显著优势和广阔的应用前景,并对其研究进展进行简要概述。分析了基于Mach...
关键词: 钙钛矿型材料 太阳电池 气相沉积法 溶液制备法 溶液共蒸发法
钙钛矿型材料因独特的氧八面体共顶点连接结构,而具有优异的热稳定性和光电特性,可作为太阳电池的光吸收层。介绍了钙钛矿型太阳电池的几种主要制备方法:如气相沉积法、溶液制备法以及溶液共蒸发法等,讨论了钙钛矿型太阳电池的几种制备方法在国内外的研究现状以及各自的优缺点。同时,介绍了几种典型的钙钛矿型材料和这些材料的一些性能参数...
关键词: 非晶硅薄膜 喇曼光谱 激光晶化 晶化率
为了研究连续激光晶化的非晶硅薄膜的结构特性,采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃衬底上沉积了非晶硅薄膜,用波长为532nm的连续激光对非晶硅薄膜进行晶化,并采用喇曼光谱仪、傅里叶红外吸收光谱仪和原子力显微镜对激光晶化前后薄膜的结构和形貌进行表征。结果表明,固定激光照射时间为45S、激光功率密度为1.914×10^5W/cm^2时,非晶硅...
关键词: 多巴胺 核酸适体 传感器 检测 纳米材料
基于核酸适体生物传感器检测多巴胺的不同原理,分别概述了电化学核酸适体传感器和光学核酸适体传感器检测多巴胺。这两种多巴胺的检测方法与传统方法相比具有明显的优势,如检测时间短、更易操作及检测范围更广等。采用这两种传感器检测多巴胺的浓度都已达到皮摩尔级的水平,响应时间小于1S,且由于多巴胺适体的存在传感器表现出对多巴胺高度的...
关键词: 纳米结构 磁致伸缩 实时检测 病原体检测
阐述了生物传感器在病原体检测中的意义、研究与进展,并提出了一种新型的基于纳米磁性材料磁致伸缩特性的生物传感器,即磁致伸缩纳米生物传感器(magnetostrictive nano—biosensor,MNBS)。与传统的生物传感器不同,MNBS传感器在外加磁场作用下不仅可以检测液态食物中的病原体,而且可以在非液态食物中位移,完成病原体的实时检测。此外,MN...
关键词: 三维石墨烯 水凝胶 气凝胶 微结构
采用绿色还原剂L-抗坏血酸还原氧化石墨烯(GO),在常压、较低的温度下快速制备三维石墨烯。通过对反应物GO质量浓度和还原剂质量的比较以及对反应过程的实时监控,发现二者与三维石墨烯的形成密切相关。当GO质量浓度和L-抗坏血酸的质量浓度较低时,由于反应速率慢导致石墨烯无法形成稳定的三维结构。只有增大GO质量浓度和L-抗坏血酸的质量浓度...
关键词: 碱性铜粗抛液 去除速率 磨料 螯合剂 氧化剂 表面活性剂
针对不含腐蚀抑制剂苯并三唑(BTA)的碱性铜粗抛(P1)液,研究各成分对铜膜去除速率的影响,选出一种合适的具有高速率的碱性铜粗抛液。实验结果表明:当SiO2磨料体积分数为0.25%、螯合剂(FA/OⅡ)体积分数为0.3%、氧化剂体积分数为0.05%、非离子表面活性剂体积分数为0.3%时,此抛光液铜膜去除速率为602.364nm/min,达到了工业去...
关键词: 粒径测量 表面活性剂 微流控芯片
报道了颗粒表面带电量对电阻脉冲(RPS)法测量颗粒粒径的影响规律。利用微流控芯片颗粒差分电阻脉冲检测系统实验测得了磷酸盐缓冲液(PBS)、1.0mmol/L的十二烷基硫酸钠(SDs)阴离子表面活性剂溶液和十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)阳离子表面活性剂溶液中,直径为2vtm聚苯乙烯颗粒经过检测区产生的脉冲信号幅值,并计算获得了颗粒有效粒径。...
关键词: 光栅样片 质量参数 直线度 均匀性
论述了扫描电子显微镜(SEM)应用的广泛性以及光栅样片用于校准扫描电子显微镜的重要性,从选材、图形设计及加工制作等几个方面设计并研制了微米级光栅样片。为方便校准扫描电子显微镜的不同放大倍率,采用分区域图形设计方法将7个不同尺寸的样片结构分布在同一模板上。设计了对样片的关键质量参数(如栅条的直线度及均匀性)的评价方法,并对...
关键词: 中国电子科技集团公司 半导体激光器 研究所 产品推介 光纤激光器 固态激光器 激光器泵浦 近红外波段
中国电子科技集团公司第十三研究所研发生产半导体激光器、固态激光器和光纤激光器三大系列激光器。半导体激光器以高功率为主要特点,在800~1064nm近红外波段,连续功率达到3000W,脉冲功率达到5000W,应用于固态激光器泵浦、光纤激光器泵浦、
关键词: 专用集成电路 国际论坛 征稿通知 vlsi电路 asic ieee 制造厂商
第11届IEEE国际专用集成电路会议(ASICON2015)将于2015年11月3—6日在中国成都举行。这次会议旨在为VLSI电路设计者、ASIC用户、系统集成工程师、IC制造厂商、工艺和器件工程师以及CAD/CAE工具开发者提供一个国际论坛,介绍其在各自领域取得的最新进展和研发成果。
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