关键词：集成电路产业 制造业水平 竞争态势 集成电路装备 夯实基础 

摘要：集成电路(integrated circuit,IC)装备作为集成电路产业发展的关键基础,己成为高技术装备产业的典型代表。一个国家集成电路装备制造业水平的高低,决定了整个集成电路产业的发展水平。本文结合全球集成电路装备产业链条,解析全球及我国集成电路装备的技术体系及竞争态势。分析发现,我国集成电路装备发展快速,但短板仍很明显,应进一步夯实基础,加快提升创新步伐。

新材料产业杂志要求:

{1}稿件应为未公开发表的作品，凡来稿，均视为作者、译者已经阅读或知悉并同意本声明。

{2}编辑部有权对来稿进行修改或删节，但对内容的实质性修改将征得作者同意。

{3}论文所引文献的注释必须规范，准确标明作者、文献名称、出版社或出版物的名称、出版或发表的时间、页码等。注释一律采用脚注方式，注释序号使用1、2、3……标示，每页单独排序。

{4}引用大型常用出土文献合集，可使用括注，括注应使用不同于正文的字体。第一次应使用全称，第二次可使用简称。

{5}获得各项课题资助的来稿将优先发表（需要在稿件首页注明）。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社