关键词：rfmems 微电子机械系统 射频 研究现状 发展趋势 

摘要：概述基于微电子机械系统MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）技术的各类射频RF（Radio Frequency）无源器件及微小型单片集成系统的概念与内涵及其应用市场,重点介绍RFMEMS电容电感、开关、移相器、谐振器、滤波器、微型同轴结构、天线、片上集成微纳系统等的国内外研究现状、典型研究成果和产品、技术方案和微纳制造工艺及性能特点等,最后浅析RFMEMS领域的发展趋势.

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