关键词：压电执行器 非线性 迟滞 控制方法 

摘要：压电执行器在微驱动和微定位领域应用广泛，但压电执行器在输入电压和输出位移间存在着迟滞非线性。非线性的存在使压电执行器定位精度降低，动态响应速度变慢，是其工程上进一步应用的主要障碍。减小和消除迟滞非线性成为实现高精度控制的关键。总结了近年来国内外在减小和消除压电执行器迟滞非线性方面上的研究工作，并指出当今研究的热点及未来研究的方向。

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