关键词：ti3o12薄膜 铁电性能 介电性能 漏电流 

摘要：采用溶胶-凝胶（Sol—Gel）法在Pt／Ti／SiO。／Si衬底上制备Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12薄膜，发现制备的薄膜具有单一的钙钛矿晶格结构，且表面平整致密。对Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12薄膜的电学性能进行了研究。结果表明，室温下，在测试频率1MHz时，其介电常数为213，介电损耗为0．085；在测试电压为350kV／cm，其剩余极化值、矫顽场强分别为39．1μC／cm2、160．5kV／cm；表现出良好的抗疲劳特性和绝缘性能。

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