关键词：多晶硅 吸附器 应力分析 疲劳分析 

摘要：介绍了新型多晶硅活性炭吸附器的结构和工作原理。利用ANSYS Workbench建立了吸附器的1/4模型,并对其设计工况和六种操作工况进行了应力分析。按照JB 4732-1995相关规定对吸附器进行了应力强度与疲劳强度的校核,结果均满足标准要求,可为多晶硅活性炭吸附器或其他疲劳设备的设计与分析提供参考。

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