关键词：等离子化学气相沉积 新技术 纳米制造技术 挠性覆铜板 产品 

摘要：纳米铜油墨涂覆制作超薄铜层FCCL Intrinsiq材料公司推出用纳米制造技术制造超薄铜挠性覆铜板（FCCL）。目前超薄铜FCCL制造采用等离子化学气相沉积（PVD）工艺和卷对卷（R2R）设备生产，挠性薄膜基材上沉积0．5微米铜层。这个过程提供良好的粘附能力，易于处理，但非常昂贵。

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