杂志介绍
真空杂志是由中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司主管，中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司主办的一本统计源期刊。
真空杂志创刊于1964，发行周期为双月刊，杂志类别为工业类。
主管单位：中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司
主办单位：中国机械工业集团有限公司;沈阳真空技术研究所有限公司
国际刊号：1002-0322
国内刊号：21-1174/TB
发行周期：双月刊
全年订价：￥280.00
关键词: ams2750d 温度传感器 在线原位校准
简述美国标准AMS 2750D中系统准确度测试传感器、炉温均匀性测试传感器、控制温度传感器及负载传感器的性能、用途、分类与选择,以及在线原位校准的优点。详细探讨符合美国标准要求的温度传感器的研制与应用。结果表明,作者研制的2750D用温度传感器,完全满足美国标准要求。
关键词: 校准室 微调阀 标准规 比对校准技术
真空比对标准装置是由真空泵、校准室、真空管道、各种阀门及真空规组成的。根据实际使用情况,从四个方面对真空比对标准装置进行了详细的分析,包括：校准室的研究、微调阀性能的研究、标准规计量学特性的研究、比对校准技术的研究和应用。
关键词: 真空镀膜设备 真空镀膜技术 出版发行 ito导电玻璃 真空蒸发镀膜 化学气相沉积 冶金工业 工程技术
由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书：《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容：薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积（CVD）、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃镀膜工艺、薄膜厚度测量与监控、
关键词: 真空管道交通 管道断面 真空度 建设成本 运营成本
影响真空管道交通建设成本与运营成本的因素很多,其中管道断面尺寸是最主要的影响因素。管道断面越小,显然建设成本越低。但小管道断面意味着阻塞比增加和空气阻力增大,对运营成本的影响并非显然。通过对真空管道中不同阻塞比、不同真空度时列车空气阻力的计算与比较,可知对于相同的空气阻力工况,减小断面所节省的抽真空能耗大于因提高真空度而...
关键词: 中国真空学会 日常工作 主管 办公室 秘书长 理事会
经中国真空学会理事会会议（2011年10月31日）研究决定：刘锋同志任中国真空学会常务副秘书长兼学会办公室主任,主管学会日常工作。
关键词: rh 真空 水环泵 喷射泵
本文介绍了宝钢炼钢厂4#RH水环泵和蒸汽喷射泵混合式真空系统的组成,分析了4#RH真空系统的技术特点,并介绍了投产后的使用情况,最后总结了设备管理方面的创新和经验教训。
关键词: 凝汽器 真空 换热 节能
真空度是影响汽轮机带负荷和热效率的一个重要技术经济指标,传热效能又直接影响真空度的高低,根据传热学的原理,结合汽轮机凝汽器运行情况,提出了提高真空度的办法,改善交换工况,从而达到提高节能效果的目的。
关键词: 水环真空泵 编委会 调整 杂志 中科院金属研究所 总工程师 科学仪器 澳大利亚
2011年5月22日在沈阳裕宁大酒店清风阁召开2011年《真空》杂志编委会会议上一致通过编委会的调整意见。新增编委共8名：中科院金属研究所研究员孙超，中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司总工程师张振厚，淄博水环真空泵厂有限公司总工程师燕洪顺，皇明太阳能股份有限公司首席科学家章其初博士（澳大利亚人），淄博真空设备厂有限公司总工程师徐...
关键词: pem 磁控溅射 tio2 沉积速率 设置点 晶体结构 折射率
在中频孪生靶反应磁控溅射实验装置上,用PEM控制沉积TiO2薄膜,实验了靶基距、电流与沉积速率的关系。实验得出,靶基距为112 mm时沉积速率最大,沉积速率与电流基本成线性比例关系。在溅射电流30 A,靶基距112 mm,设置点2.5时,测量了基片随时间的温升变化。然后以自然温升的单晶硅为基片,实验研究了设置点对TiO2薄膜晶体结构、折射率的影响。实验结...
关键词: 铀 脉冲辉光等离子体 离子氮化 u2n3
采用脉冲辉光等离子体离子氮化技术对贫铀表面进行了氮化处理,采用俄歇电子能谱（AES）对氮化层进行元素深度剖析,采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）对氮化层组织结构进行了分析表征。结果表明：脉冲偏压-900 V,工作氮分压50 Pa、100 Pa,氮化时间2.5 h~4 h下在贫铀表面能获得约20μm厚的氮化层,氮化层为U2N3的单一立方结构且均匀致密,...
关键词: 真空科学技术 专家评审 丛书 兰州物理研究所 科技基础 真空技术 研究员
由兰州物理研究所牵头编撰的《真空科学技术》丛书共16册，以达道安研究员为主编、张伟文研究员、杨乃恒教授、邱家稳研究员为副主编的丛书编委会，按2009年的进度，对其中《空间真空科学技术》（作者：达道安、杨亚天）、《纳米科技基础》（作者：薛增泉）、《真空技术基础》（作者：匡觋）、《真空镀膜》（作者：匪菇）、《真空干燥》（作者：...
关键词: 金刚石薄膜 黑色缺陷 光学显微镜
采用光学显微镜在透射光、反射光和侧光模式下研究了多晶CVD金刚石厚膜中黑色缺陷的存在形式,利用X射线光电子能谱、拉曼光谱研究了黑色缺陷的组成成分。结果表明：晶界处的裂隙或者孔洞和晶粒内部的结晶缺陷是金刚石膜内部黑色缺陷的存在形式之一。
关键词: 真空测量 真空控制 出版发行 电离真空计 合肥工业大学 残余气体分析 真空校准 分压力测量
合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括：真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准...
关键词: 真空设备 采购指南 设备选型 出版 真空热处理设备 真空干燥设备 网络公司 选型技术
经中国化工报网络公司组织,由徐成海任主编,陆国柱、谈治信、陈荣法任副主编,王毓民、白玉石、徐法俭、徐玉江、李春影、陆峰、张建伟、周士海、张华、赵悦呈、彭润玲、惠进德参加编写的《真空设备选型与采购指南》一书已于2009年4月出版。全书共分三篇：第一篇真空设备选型技术,共分16章真空泵、真空计、真空阀门、真空机组、真空冶炼设备、真...
关键词: 离子镀 zrn薄膜 表面形貌 结构
本文采用阴极电弧离子镀技术制备了ZrN膜层,研究了工作气压、偏压、弧流等工艺参数对ZrN膜层表面形貌和结构的影响,分别用扫描电镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）分析了膜层的表面形貌及相结构。结果表明：工作气压、偏压、弧电流等工艺参数对ZrN膜层的表面形貌有较大的影响,在本实验内适当提高N2压强、偏压以及在稳弧前提下降低弧流有利于减少大...
关键词: 溅射功率 zao薄膜 电阻率 透过率 光学带隙
采用射频磁控溅射工艺,以Al掺杂ZnO（ZAO）陶瓷靶为靶材在石英玻璃基片上制备出具有优良光电性能的ZAO透明导电薄膜,研究了溅射功率对薄膜光电性能的影响。在不同溅射功率条件下制备的ZAO薄膜具有很好的c轴择优取向。较大功率溅射有利于薄膜晶粒尺寸的增大、电阻率降低。ZAO薄膜在可见光区的透过率平均值高达90%以上,受溅射功率影响不大。在340n...
关键词: 热处理技术 热处理装备 节能环保 环保新技术 苏州 主题报告 生产加工 国内外
会议具体内容：由行业内的专家、学者,国内外的企业技术、经营主管做主题报告。内容涵盖：热处理生产加工节能环保新技术;热处理装备节能环保改造新技术;
关键词: 表面偏析 尺寸效应 二元合金薄膜
本文评述了广泛应用于描述平衡态和动态偏析的修正Darken模型。该模型首次提出了偏析的驱动力是化学势梯度,并成功地应用于定量描述体块材料的平衡态和动态的表面偏析。在考虑到薄膜体系中的尺寸效应后,引入了一个约束条件,再将其应用于修正的Darken模型,实现了在所有的浓度和薄膜厚度范围内,对合金薄膜体系的平衡态和动态的表面偏析的模拟计算...
关键词: 科技核心期刊 杂志 真空 科技信息 研究所 国内
《真空》杂志是各重点高校教师职称晋升时投稿首选刊物之一据报导,对中国（不含港、澳、台）出版的期刊中,核心期刊的认定目前国内有两种比较权威的版本。一是中国科技信息研究所（简称中信所）每年出一次的《中国科技期刊引证报告》。《引证报告》是从国内的科技期刊中选出1300多种中、
关键词: 薄膜 氮化钛 光学性质
介绍了拟合氮化钛薄膜光学常数常用的色散模型,且结合第一性原理计算出的能带结构和态密度给予阐述;概括了氮化钛在表面等离子体共振方面的研究进展和掺杂对于氮化钛薄膜光学性能的影响;并且指出了氮化钛在节能镀膜玻璃方面的应用。
关键词: 电弧离子镀 脉冲电弧源 磁过滤 脉冲偏压
传统电弧离子镀存在着大颗粒污染、沉积温度相对较高和易引发微弧击穿效应等诸多不足,制约其在精细薄膜、低温沉积和功能薄膜等方面的应用。本文简要介绍了电弧离子镀中大颗粒的形成机理,旨在探讨用磁场控制、脉冲电弧、磁过滤及脉冲偏压等方法来减少大微粒污染及其作用机理。
关键词: zno薄膜 光电性质 p型掺杂
近年来,随着对ZnO的光电性质及其在光电领域应用的开发研究,制备可靠稳定的低阻p型ZnO薄膜成为研究热点之一。本文论述了p型ZnO薄膜制备的难点及其解决方法,综述了其最新研究进展,并对p型ZnO的研究进行了展望。
关键词: 微晶硅薄膜 射频功率 拉曼光谱 暗电导率
采用射频等离子体增强化学气相沉积（rf-PECVD）技术,在玻璃和硅衬底上沉积微晶硅（μc-Si：H）薄膜。利用拉曼光谱、AFM和电导率测试对不同射频功率下沉积的薄膜的结构特性及光电性能进行分析。研究表明：随着射频功率的增加,薄膜的晶化率和沉积速率也随之增加,而当射频功率增加到一定的程度,晶化率和沉积速率反而减小。薄膜的暗电导率与晶化率...
关键词: 热管真空管 太阳能热水器 cpc聚光板 集热效率
研制了一种CPC（复合抛物面聚焦）热管真空管式太阳能热水器。该热水器在普通玻璃真空管热水器的基础上耦合热管技术,并增加了CPC聚光板。对该热水器与全玻璃真空管太阳能热水器进行了热性能对比实验研究。结果表明,在300 W/m2~800 W/m2日照条件下,该新型热水器单位面积集热功率最高可达610 W/m2;平均集热效率约为80%,比全玻璃真空管太阳能热水...
关键词: 真空保鲜 专利号 2010年世博会 中华人民共和国 粮食生产 农产品保鲜 技术负责人 食品安全
国家农业部农产品保鲜专家，上海2010年世博会食品安全与保鲜专项技术负责人孙企达教授发明的真空保鲜米缸能解决，令千家万户头痛的大米等粮食在储存中的虫蛀和霉变难题。尤其在梅雨季节与湿热地区，问题更为突出。最近已获得了国家专利（中华人民共和国专利号：201010252411．1），同时还减少大米粮食的损耗，也就是能为国家粮食生产不增加投...
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