关键词：表面偏析 尺寸效应 二元合金薄膜 

摘要：本文评述了广泛应用于描述平衡态和动态偏析的修正Darken模型。该模型首次提出了偏析的驱动力是化学势梯度,并成功地应用于定量描述体块材料的平衡态和动态的表面偏析。在考虑到薄膜体系中的尺寸效应后,引入了一个约束条件,再将其应用于修正的Darken模型,实现了在所有的浓度和薄膜厚度范围内,对合金薄膜体系的平衡态和动态的表面偏析的模拟计算。并利用该模型模拟了N（i111）Cu二元合金薄膜系统的平衡态和动态的表面偏析。

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