真空杂志

《真空技术》一书出版发行

关键词: 出版发行  真空系统设计  容积式真空泵  真空测量仪表  稀薄气体  真空获得设备  分子运动理论  

由东北大学王晓冬、巴德纯、张世伟、张以忱编著，杨乃恒教授主审的《真空技术》一书于2006年9月由冶金工业出版社出版发行。《真空技术》共60万字，分15章，系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计，包括：稀薄气体分子运动理论、气体的吸附和脱附、真空中的电现象、真空中气体在管道中的流动、...

主动型氢原子钟吸气剂泵的实验研究

关键词: 氢原子钟  溅射离子泵  非蒸散型吸气剂  激活  真空  

为提高上海天文台的主动型氢原子钟真空维持系统——240L／s钛溅射离子泵3～4年就可能出现的可靠性问题，研制了非蒸散型吸气剂泵和2L／s小离子泵组成的复合泵。描述了复合泵的实验过程，吸气剂在450℃激活，在室温下吸收6．3MPa·L的氢气后仍可达到5．9×10^-5Pa的真空度，2L／s的离子泵电流工作在0．7μA，证明了复合泵可以维持主动型氢钟10年以...

真空正压转轴密封结构设计与分析

关键词: 真空  正压  转轴密封  胶芯弹性盘根  

本文重点介绍了作者在实际应用过程中设计的两种真空正压转轴密封结构、性能及特点。利用胶芯弹性盘根作为密封材料设计的新型填料转轴密封结构，在1．3×10-4Pa-2．5MPa较宽的压力范围内具有极佳的密封性能，结构具有低摩擦、低漏率、无污染的特性，自润滑性能良好，密封效果持久可靠。

沈阳真空产业技术创新战略联盟成立

关键词: 技术创新战略  沈阳市  联盟  产业  真空  人民政府  成员单位  新闻媒体  

2011年7月28日，沈阳真空产业技术创新战略联盟（以下简称联盟）正式成立，辽宁省科技厅副厅级巡视员焦明志、沈阳市人民政府副市长王玲、沈阳分院副院长梁波、沈阳市人民政府副秘书长程晓龙、沈阳市科技局局长宋锡坤等领导以及联盟成员单位代表、新闻媒体记者等共计100余人出席了联盟成立大会。

大型卧式真空退火炉的研制

关键词: 退火炉  结构  特点  

该大型卧式真空退火炉是用于钛、锆等稀有金属管材退火的设备，退火工件最长尺寸为16m，是国内长度和容量最大的真空退火炉。本文着重介绍了该炉的技术性能、主要机构的设计、动作原理及其结构特点等。

EAST托卡马克锂化技术研制

关键词: east  锂化系统  壁处理  

锂蒸发镀膜壁处理技术为EAST核聚变装置内真空室提供了良好的壁条件，促进了高参数等离子体的获得——首次H—Mode、100s长脉冲和1MA高电流等离子体，发展为常规而又关键的壁处理方式。本文详细介绍了EAST锂化系统设计与研制，包括锂蒸发器设计，锂材定制，外围真空、控制系统组建。给出了锂化系统台面实验结果，运行条件、锂化运行三种方式，坩...

低方阻、高透光度复合透明导电膜的研制

关键词: 透明导电膜  透光度  方阻  复合  

针对低方阻、高透光度透明导电膜的要求，利用薄膜光学干涉原理，设计了ITO＋SiO2复合型的透明导电膜；研究了基底温度、沉积速率、充氧量等工艺参数对ITO膜的影响；利用优化的工艺参数成功制备了复合透明导电膜。测试结果表明，膜层性能优异，能够满足使用要求。

“真空保鲜米缸”新专利

关键词: 真空保鲜  专利号  2010年世博会  中华人民共和国  农产品保鲜  技术负责人  食品安全  湿热地区  

国家农业部农产品保鲜专家，上海2010年世博会食品安全与保鲜专项技术负责人孙企达教授发明的真空保鲜米缸能解决，令千家万户头痛的大米等粮食在储存中的虫蛀和霉变难题。尤其在梅雨季节与湿热地区，问题更为突出。最近已获得了国家专利（中华人民共和国专利号：

非晶硅薄膜晶化过程的研究

关键词: 硅薄膜  非晶硅晶化  固相法  激光诱导晶化  磁控溅射  化学气相沉积  

多晶硅薄膜具有较高的电迁移率和稳定的光电性能，是制备微电子器件、薄膜晶体管、大面积平板液晶显示的优质材料。多晶硅薄膜被公认为是制备高效、低耗、最理想的薄膜太阳能电池的材料。因此，如何制备多晶硅薄膜是一个非常有意义的研究课题。固相法是制备多晶硅薄膜的一种常用方法，它是在高温退火的条件下，使非晶硅薄膜通过固相相变而成为多...

磁控溅射法制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜的工艺研究

关键词: 铁氧体薄膜  磁控溅射  溅射功率  

采用磁控溅射在硅晶基体上制备NiZnCo铁氧体磁性薄膜，研究了溅射功率对溅射（沉积）速率和微观形貌的影响规律：随着溅射功率由80W增大到150W，薄膜的沉积速率增大；薄膜却由整齐均匀分布的小颗粒状向片状结构变化，分布也不均匀，晶粒明显长大。由此确定最佳溅射功率为120W，薄膜的微观形貌最理想，溅射（沉积）速率也很快。

中国真空学会任命刘锋同志主管学会日常工作

关键词: 中国真空学会  日常工作  主管  办公室  秘书长  理事会  

经中国真空学会理事会会议（2011年10月31日）研究决定：刘锋同志任中国真空学会常务副秘书长兼学会办公室主任，主管学会日常工作。

掺氮类金刚石薄膜的微观结构和光学特性研究

关键词: 类金刚石薄膜  原子力显微镜  拉曼光谱  椭圆偏振光谱  

采用射频等离子增强化学气相沉积法（PECVD）制备掺氮类金刚石薄膜（DLC：N），通过原子力显微镜，拉曼光谱和椭圆偏振光谱等对试验样品进行研究，实验结果表明，在薄膜中，氮元素主要以C=N键的形式存在，起到了降低薄膜内应力，提高薄膜附着力的作用；此外，通过控制掺氮量可以制得折射率在1．85～1．6范围内的DLC薄膜。

Cu2ZnSnS4／Si异质结器件的制备及特性研究

关键词: 脉冲激光沉积  

利用脉冲激光沉积法在不同电阻率的n型Si（100）基片上沉积Cu2ZnSnS4薄膜，制备p-Cu2ZnSnS4／n—Si异质结。利用x射线衍射（XRD）、X射线能谱（EDS）和原子力显微镜（AFM）对CuzZnSnS4薄膜的结构、组分和形貌进行表征，并对器件进行I—v测试，讨论不同电阻率的si对异质结器件光电特性的影响。结果表明，器件有良好的整流特性，si电阻率大的器件...

Er2O3阻氚涂层的化学溶液法制备研究

关键词: 化学溶液法  er2o3  阻氚涂层  

由于具有高的绝缘性和热力学稳定性，近年来氧化铒（ErgO3）作为一种新型的阻氚渗透涂层材料受到极大的研究重视。本文采用化学溶液法在316L不锈钢基体上制备了Er20，阻氚涂层，研究了前躯体液pH值、浓度和晶化处理气氛对涂层结构和性能的影响。结果表明，前躯体液在pH值为7．6-7．8、浓度为0．4mol／L进行涂覆并在空气气氛中进行晶化处理，可获...

TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

本文以北京天瑞星公司生产的大型TX1800商用磁控溅射镀膜机为例，简要分析了此磁控溅射镀膜机中靶的结构及配套冷却系统，引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在此基础上，提出了一种全新的思路，对冷却系统进行了重新设计。

辉光放电发射光谱法材料表面逐层分析

关键词: 材料表面  辉光放电  发射光谱法  逐层分析  有机高分子材料  定性定量分析  发射光谱仪  覆盖层厚度  

本单位专业从事材料分析测试，拥有一大批先进进口仪器和专业的技术团队，可对各种材料（有机高分子材料、金属材料、有机溶剂等）进行定性定量分析与性能测试。其中辉光放电发射光谱仪，可对样品进行表面剖析，逐层检测材料表面不同层面上的化学成分以及材料表面覆盖层厚度，

L200＋型氦质谱检漏仪常见故障的分析与处理

关键词: 故障  分析  处理  

对L200＋型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析，并提出了处理各种故障的方法和建议。总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项。本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义。

泄漏检测技术不确定度评价方法浅探

关键词: 氦质谱  检漏  不确定度  

氦质谱检漏是目前比较广泛采用的一种泄漏检测方法，一般采用比对定量的方法给出检漏结’果。本文分析了氦质谱检漏的影响因素，从建立数学模型角度分析漏率测量的不确定度，并给出采用氦罩法进行真空泄漏检测时的漏率不确定度范围，为用该方法评价氦质谱检漏结果提供思路，探讨采用该方法提供漏率结果不确定度的合理性和可行性。

真空微波解吸载乙醇活性炭的过程分析

关键词: 微波解吸  气相色谱  近似法  真空  机理  

设计了载乙醇活性炭真空微波解吸的试验流程，采用近似法测定了载乙醇活性炭真空微波解吸的出口浓度曲线。阐述了在真空条件下微波解吸负载有水和乙醇这类低沸点化合物的活性炭的机理，对真空微波解吸的分离过程进行了分析。试验结果表明：在各种微波功率下，中期乙醇出口浓度均高于前后期；在320W微波功率下，80S即出现乙醇出口质量分数的最高...

关于重新编辑出版《真空设备选型与采购指南》的通知

关键词: 真空设备行业  编辑出版  采购指南  设备选型  国际经济形势  事业单位  企业发展  设备采购  

由于2009年5月出版的原版《真空设备选型与采购指南》已经售完。还有不少企、事业单位来信来函要求购买。所以该书拟重新修订、编辑出版。近年来，我国的真空设备行业在国际经济形势大好的前提下高速增长，增长的同时，企业发展也出现了良莠不齐的现象，给设备采购厂家造成了混乱并增加了成本。