真空科学与技术学报杂志是由中国科学技术协会主管，中国真空学会主办的一本北大期刊。
真空科学与技术学报杂志创刊于1981，发行周期为月刊，杂志类别为工业类。
杂志介绍
真空科学与技术学报杂志
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主管单位：中国科学技术协会
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主办单位：中国真空学会
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国际刊号：1672-7126
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国内刊号：11-5177/TB
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发行周期：月刊
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全年订价：￥700.00
杂志介绍
真空科学与技术学报杂志是由中国科学技术协会主管，中国真空学会主办的一本北大期刊。
真空科学与技术学报杂志创刊于1981，发行周期为月刊，杂志类别为工业类。
主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国真空学会
国际刊号：1672-7126
国内刊号：11-5177/TB
发行周期：月刊
全年订价：￥700.00
关键词: 多弧 tin 维氏硬度 结合力
对比不同的表面处理工艺,选择多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢基材表面制备TiN硬质涂层。分析制备工艺对膜层的表面硬度、膜/基结合强度、膜层结构等基本物理性能的影响,进行工艺优化。结果显示在预热温度高于200℃后,TiN膜层结晶效果较好;负偏压达到600V后,膜/基间＂伪扩散＂层出现,膜/基结合性能明显提高;工作气压升高,膜层表面硬度、膜/基结合...
关键词: 四面体非晶碳 拉曼光谱 sp3键 基片偏压 磁过滤器电流
通过对不同基片偏压下磁过滤器电流对四面体非晶碳（ta-C）薄膜sp3键含量影响的研究,探讨了磁过滤阴极电弧技术制备高sp3键ta-C薄膜优化工艺条件。在不同的基片偏压下,薄膜沉积率随着磁过滤器电流增大而增大。当基片偏压为200 V时,磁过滤器电流从5A增大至13 A,ID/IG从0.18增加到0.39;当基片偏压500V时,ID/IG从1.3增加到2.0;证明随着磁过滤器电流...
关键词: 涂层结构 多弧离子镀 微观结构 氧化行为
采用多弧离子镀技术及TiAl合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TiN/Ti1-xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为。用扫描电镜、X射线衍射、电子探针等手段表征了涂层氧化后的组织结构和元素分布。试验发现,基体Fe元素扩散到涂层表面意味着SKH51涂层试样剧烈氧化阶段的开始。当涂层的构型相同时,涂层的抗氧化性能随着涂...
关键词: 梯度膜 多弧离子镀 硬质合金 显微硬度 结合强度
采用多弧离子镀技术,使用T-iA-lZr合金靶和Cr单质靶,在WC-8%CO硬质合金基体上制备了TiAlZrCr/（Ti,Al,Zr,Cr）N多组元梯度膜。分析了梯度膜的成分、结构和微观组织,并研究了梯度膜的显微硬度和膜/基结合力。研究结果表明,该多组元梯度膜为B1-NaCl型的TiN面心立方结构;薄膜的成分是以TiAlZrCr合金为过渡层的（Ti,Al,Zr,Cr）N梯度膜;薄膜的组织致...
关键词: 速调管 三间隙耦合腔输出回路 微波网络 间隙阻抗
扩展相互作用速调管由多个重入式多间隙耦合腔构成,毫米波段高功率微波源的需求推动了Ka波段扩展互作用速调管的研制。本文采用基于微波网络理论的多间隙耦合腔输出回路间隙阻抗冷测方法,对Ka波段滤波器加载三间隙耦合腔输出回路进行冷参数测试,得到该回路的间隙阻抗频率特性曲线与群时延曲线。并将冷测结果与三维电磁场软件仿真结果进行对比,分...
关键词: m型阴极 os膜 真空度 电子发射 机理
在覆Os膜M型阴极工作于75 A/cm2高电流密度的情况下,逐级降低真空系统的真空度,测出了阴极电流密度随真空度变化的关系曲线。分析表明,当系统真空度为1.0×10-5Pa时,阴极发射开始出现明显下降,下降幅度达1.96%;当真空度为2.07×10-4Pa时,阴极电流密度降低10%,阴极寿命接近终了。进一步研究认为,对于微波管而言,通过渗漏进入微波管内的大气特别是其...
关键词: 气体电子倍增器 电子透过率 增益 garfield
气体电子倍增器（GEM）是近年来发展起来的一种新型气体探测器。本文首先介绍了GEM的结构和模拟的原理,然后基于有限元的方法建立GEM三维模型,并计算电场分布,将所得的GEM结构模型导入GARFIELD软件,实现GEM透过率和增益的计算。并进一步改变GEM的各项参数,如结构、电场和所充气体气压、配比等研究对GEM透过率和增益的影响,分析了参数变化对GEM性...
关键词: 正向设计 高效率 总阻抗 耦合腔行波管
针对高效率耦合腔行波管提出一种正向设计的初步方法,可根据设计指标对其慢波结构进行快速的定量设计。其设计思想是在满足带宽内的注波互作用同步条件的基础上,尽可能提高总阻抗。为此提出＂带宽相速差之比＂参量来描述带宽与同步的关系,并以此参量和Curnow等效电路模型分析了休斯型耦合腔慢波结构的各个参量变化对带宽和总阻抗的影响情况,从而...
关键词: 质子交换膜燃料电池 不锈钢双极板 磁控溅射 接触电阻 耐蚀性能
采用等离子体磁控溅射的方法在304不锈钢双极板表面沉积出致密均匀的Cr层和Cr2N层。运用X射线衍射、俄歇电子能谱、扫描电镜、界面接触电阻测试和动电位极化等方法,研究了表面镀层对不锈钢双极板导电和耐腐蚀性能的影响。结果表明,经过镀氮化铬层后的双极板界面导电性能良好,在质子交换膜燃料电池（PEMFC）电堆装载压力下,界面接触电阻为20mΩ.cm...
关键词: 钼掺杂 氧化锌 微结构 光致发光 退火
使用磁控溅射法在石英基底上制备钼掺杂氧化锌薄膜。扫描电镜结果表明薄膜由晶粒大小为40～80 nm范围内的颗粒组成,薄膜具有六方纤锌矿型结构且沿c轴择优取向生长。在可见光范围（400～760 nm）内所有薄膜的平均光透射率超过90%。退火薄膜的光致发光（PL）光谱表明,退火处理对发光峰的位置有很大影响,随着退火温度的增加,发光峰位置从380 nm红移...
关键词: 本底压力 电子反流 数值模拟 工作寿命
针对20 cm氙离子推力器具体设计和工作参数,采用二维轴对称模型的网格质点和蒙特卡罗碰撞方法模拟计算了氙离子和氙原子在离子推力器栅极系统中的运动。模拟得到了在不同本底压力下交换电荷离子对加速栅极孔壁的溅射腐蚀情况,并由此计算了不同本底压力下因孔壁腐蚀导致发生电子反流失效模式的推力器工作寿命。
关键词: 介质阻挡放电 一氧化氮 同轴型 数值模拟 间隙大小
主要目的是为了研究气体间隙大小对介质阻挡放电脱除NO的影响。通过改变间隙大小,对反应器内静电场进行计算,用玻尔兹曼方程对反应器内的电子分布函数进行分析,并实验研究了间隙大小对NO脱除的影响。计算结果显示,随着气体间隙的减小,电场强度增大,导致折合场强增大,折合场强为200Td时离解速率和电子平均动能较100 Td时分别增加了116倍和2.2倍。...
关键词: 多层等离子体蚀刻技术 刻蚀速率 均匀性 光阻
干法刻蚀现已成为微小高深宽比结构加工与微细图形制作的重要手段。提出了一种新的干法刻蚀技术—多层等离子体蚀刻,充分利用腔体的空间布局,布置多层电极,并采用分层送气装置输送放电气体,实现多层同时进行刻蚀,可成倍提高产能。采用该技术刻蚀光阻为例,从空间与时间两个角度分析了工艺参数对刻蚀速率与均匀性的影响规律与作用机理。实验结果表...
关键词: 叠层太阳能电池 单极性半导体 掺杂
Ⅱ-Ⅵ族材料ZnSe、CdSe、ZnTe、CdTe等具有禁带宽度大,少子寿命对位错不敏感等优点,可以作为一种新的材料体系应用于叠层太阳能电池中。此类材料既能够与铜铟镓硒电池、Ⅲ-Ⅴ族材料、单晶Si等相结合,也可将不同的Ⅱ-Ⅵ族材料相结合制备多结电池。本文介绍了上述几种思路的理论及实验研究现状,以及Ⅱ-Ⅵ族材料顶电池的研究进展;同时分析了阻碍Ⅱ-...
关键词: 平口喷嘴 空化 fluent模拟 真空喷射法
采用Ansys Fluent软件并基于Schnerr与Sauer空化模型,对出口压力小于10Pa平口喷嘴内部的空化流动进行了模拟,研究了喷射压力和喷嘴直径对喷嘴内部蒸汽体积和湍动能分布的影响。结果表明,高喷射压力（10 MPa）对喷嘴内部蒸汽体积的作用减弱,喷射压力为10MPa时,喷嘴出口径向上的蒸汽体积大于其它喷射压力下的蒸汽体积,可获得较好的空化效果;喷嘴内...
关键词: 平口喷嘴 雾化 聚合物薄膜 真空喷射沉积
基于breakup和collision液滴破碎模型采用Fluent和Gambit软件对平口喷嘴的真空射流雾化进行了模拟,研究了环境压力、喷射压力和喷嘴直径等参数对射流雾化结构和液滴索特平均直径（Sauter mean diameter,SMD）的影响。结果表明：①随着环境压力的降低,喷射束宽度减小,射流贯穿距离和SMD增加。当环境压力小于0.01 MPa时,各雾化性能参数的变化幅度...
关键词: 双级 平衡配重 振动 滑阀真空泵
研究了双缸结构的双级滑阀真空的振动平衡,提出了定量平衡双级滑阀真空泵振动的方法;运用最小二乘法获得多级平衡配重的关键参数,精确平衡双级滑阀真空泵的不平衡惯性力。以2H-150滑阀真空泵为例进行振动平衡,平衡后的剩余惯性力减至1500N以内,振动力降幅达到80%左右;应用多级平衡配重方法所设计的真空泵在松地脚螺钉时的最大振幅仅为0.13mm。因...
关键词: 氟磷酸钙 真空碳热还原 磷 反应机理
采用热力学分析、X射线衍射及化学分析等手段,对真空下SiO2在氟磷酸钙碳热还原过程的行为以及SiO2添加量对还原率的影响进行了研究。热力学结果表明,当压力为100 Pa和温度高于1075℃时,Ca5（PO4）3F与C、SiO2的反应满足反应发生的热力学条件。实验研究表明：在系统压力10～80 Pa,温度达到实验最高温度1550℃,SiO2不能使氟磷酸钙发生脱氟反应,与...
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