关键词：多弧 tin 维氏硬度 结合力 

摘要：对比不同的表面处理工艺,选择多弧离子镀方法在15-5PH不锈钢基材表面制备TiN硬质涂层。分析制备工艺对膜层的表面硬度、膜/基结合强度、膜层结构等基本物理性能的影响,进行工艺优化。结果显示在预热温度高于200℃后,TiN膜层结晶效果较好;负偏压达到600V后,膜/基间＂伪扩散＂层出现,膜/基结合性能明显提高;工作气压升高,膜层表面硬度、膜/基结合力和沉积速率先升高后下降,分别在4.0,3.0和2.5 Pa达到峰值。最终获得的TiN硬质膜层表面硬度大于2000HV0.05,膜/基结合力最小临界载荷高于70N。镀膜处理后,工件的各种性能测试均能满足具体使用要求。

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