关键词：阻隔膜 氧化硅 真空制备工艺 市场 

摘要：柔性、透明超高阻隔膜在高附加值领域上的需求越来越多,如有机薄膜太阳能电池、柔性有机发光二极管、电子纸和轻质真空绝热板。回顾了普通包装膜到超高阻隔封装膜的研究发展历程,着重从制备方法、膜层结构、水氧阻隔性能以及应用现状四个方面,系统阐述用于柔性电子元件封装的超高阻隔无机氧化物薄膜的制备工艺现状,并对其市场的发展前景进行了深入的调查研究。认为成本高是制约超高阻隔膜大规模产业化的主要因素,同时指出了未来的研究重点。

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